硅在半导体工业中是用来作衬底,高纯度的单晶硅先被拉制成硅棒。然后切片制备成晶圆。然后在通过cvd(化学气相沉积)c光刻c蚀刻等一系列复杂的工艺流程,在晶圆上制造大量的微小电路,从而形成超大规模集成电路。
而在tft液晶中却有所不同,它需要在在衬底的基板玻璃上先附上一层硅膜。然后再在这层硅膜上制造用来控制液晶显示的集成电路。而制备晶圆的工艺,显然无法用于液晶面板上硅膜制造。相反半导体工艺中用来形成稳定固态薄膜的cvd设备,恰好可以解决在玻璃基板上覆盖硅膜的难题。
早在原世界的1979年,英国的邓迪大学便是利用cvd设备制备非晶硅薄膜,并率先试制出了非晶硅tft液晶面板,rb和欧美企业以及科研机构便是迅速跟进研究。
可这实验室试制和工业化规模生产之间是无法相提并论的,那些妄图抢先一步实现量产,在这上面投入了大笔资金的日企便是悲剧了,毕竟这非晶硅薄膜最早运用在太阳能电池上,其对于cvd设备的洁净度要求并不怎么敏感,但tft液晶对洁净度的要求甚至比芯片制备都要来得苛刻,所以想要只是简单的将这cvd设备进行改进就想用来生产tft液晶面板,那最后得来的产品良品率自然是格外的“喜人”了。
高科电鼓捣出了初始版的tft液晶面板以后,也是遇到了良品率的问题,好在有寇德的提醒,高科精仪那边便是开始全力研发适用于非晶硅镀膜的cvd设备,倒也不至于束手无策。
不过这研发的进度却是让寇德十分的蛋疼,在投入了大量的资金倾斜的情况下,既然不见好转,无奈之下,便是将主意打在了挖角上面,至于这挖角对象则是原世界鼎鼎大名的科林公司。
之所以没有选择在应用材料挖掘,一来是因为其现在已是全球知名的半导体生产设备提供商,这样贸然的在其公司的挖人,到时高科精仪如果推出了设备会被控告盗窃技术那就很难办了,但是如果是科林公司的话却是好办得多,其在原世界里虽是和应用材料一般强大的半导体生产设备提供商,但在这个世界的时间点里却只是一个入行没有多久的新丁而已,在国际市场也是毫无名气可言,在其那里挖人毫无压力可言,更重要的是挖角的主要目标尹志尧就在这家公司任职。
其在原世界里的美国硅谷从事半导体行业20多年,先后获取的技术专利高达60多个,开发或参与开发的cvd设备,在这个领域能够达到50,现在其虽没有达到那个程度,刚从英特尔研发中心应用开发部离职,但凭借在英特尔那里曾经参与等离子刻蚀机等关键半导体设备的研发经验,很快就是混到了科林研发部高层的地位,不过由于其在原世界中主导研发的彩虹号氧化物刻蚀机项目还没有开始,名气还没有大到让应用材料挖人的地步,只是一个普通的高层而已,这时得到高科精仪递过来的邀请函,这位便是想都没有想就答应了下来,向科林公司递交了辞呈,加盟了高科精仪。
尹志尧加入科林公司也没有给他们带来太大的利益,在犹豫了一会儿以后,便是将其放行了。至于寇德为何能够记住这个人的名字,这还要从中微半导体被应用材料公司控告涉嫌盗用商业秘密c违反合同和不公平竞争说起。
在原世界的04年,尹志尧放弃了美国的百万年薪,带领三十多人的团队,冲破美国政府的层层审查(所有人都承诺不把美国的技术带回中国,包括所有工艺配方c设计图纸,一切从零开始),回国创办了中微半导体,可刚进入试用阶段,未进入商业销售便是在07年受到了控诉。
但中微半导体被控告的两项专利中,一项与尹志尧就职于应用材料时的工作无关,另一项则是根据电磁学及本公司推出的应用,不构成侵权,导致应用材料的举证软弱无力,还被中微半导体抓住机会机会反将一军,反诉应用材料不正当竞争,让对这一情况准备不足的应用材料最终不得不撤诉求和。
这件事对于国内的影响不怎么大,也就寇德经常翻阅集成电路技术方面的相关报道,才了解国内发生了这么一件事,还有这么一家不同于国内乱放卫星的半导体设备公司,拿出来的cvd设备不仅可以拿到市场上与外企竞争,还能在竞争力上强于外企,率先实现5纳米cvd设备的突破。
正是对于尹志尧的经历记忆犹新,寇德才将其挖到高科精仪来,不仅仅是其本身是一个技术性人才,更是因为其还在硅谷成立了中国工程师协会,并且担任头两人主席,对其他在硅谷的参加工作的半导体方面的人才有号召力,这不,不仅自己来了高科精仪,还鼓动了原世界里中微半导体的骨干人员陈爱华c杜志游等另外十五名来自硅谷的半导体设备制造专家一同加入进来。
有了这些专业人士的加入,高科精仪进行的新型cvd设备研发得到了非一般的进展,此时寇德刚在火车站送别了王东升和文佳惠两人,正欲好好的偷闲一下,却是接到了cvd设备取得了突破性的进展,也就顾不得想其他的了,急冲冲的赶往高科精仪去了。
“寇总,您来了啊!”
尹志尧初来乍到,没有立下什么功绩,如果贸然的将其地位拔高的话,会引起高科精仪里的元老不满,寇德也就没有给其很高的任命,只是让其负责专供于液晶面板的cvd设备研发,其对此也是表示理解,坦然的接受了这样的任命,和自己一同回来的十五名半导体设备制造专家一同进行技术攻坚,现在见寇德来参观,连忙迎了上去。
“尹老,你们的cvd设备取得了进展,可以给我具体说说嘛!”
寇德这么急切的想要了解情况,尹志尧也没有卖关子,笑着道,“我们目前已经突破了常压化学气相淀积设备(apcvd),利用这套全新的设备,我们可以将非晶硅tft一lcd工艺中用于形成栅成栅极绝缘膜,可以在栅极与玻璃基板之间形成保护层,倒是能够保证用于9寸以下的tft液晶面板的良品率达到90以上。”
“那如果生产超过29寸的液晶面板的话,良品率大概能够达到多少?”
移动终端上寇德准备暂时用stn液晶屏,等到把研发成本赚回来了,在采用tft液晶屏,所以其对此倒是不怎么着急,但对于现在急需的大尺寸液晶屏却是一刻都是等不及,颇为急切的问道。
“这个恐怕要让寇总您失望了,研发出来的这个常压化学气相淀积设备所产出的液晶面板,也只能保证切割出来的15寸以下的良品率达标,至于超过29寸的液晶面板的良品率却是不怎么乐观,堪堪突破30,仅在之前的记录上提升了一点而已!”
尹志尧有些惭愧的低下了头,觉得有些对不起寇德的信任,因为他知道自己这边的cvd设备未能达到预期的效果,会对整个tft生产线的部署都要受到影响,但是技术研发就是如此,不会因为人的主观意志而改变。
而且作为一个骄傲的科研工作者,他也不可能撒谎,将这不怎么完善的产品强行说其达标,让寇德提供给其他公司,因为这一旦被查出来的话,可是比无法研发出合格产品更加的严重。
“这个事情倒是我的失误了,没有及时提醒尹老了!”
寇德心中也是有些后悔,这apcvd虽然解决了最基本的从无到有的问题,但是单靠这种设备想要将液晶屏的良品率突破却是相当的困难的,毕竟这apcvd虽然反应速度快,但是均匀性较差,台阶覆盖能力差,所以也只是在4代线以前在使用,往后的世代线便是转到低压cvd(lpcvd)c亚常压cvd(sacvd)c超高真空cvd(uhcvd)c等离子体增强cvd(pecvd)这常见的几种技术了。
“哪里,这是我工作不到位,没有提前估计到技术的难度,怎么能说是寇总的责任!”
尹志尧连忙摆了摆手,叹道,“对于因此给与高科精仪造成的损失,我愿意进行赔偿,在今后的3年里我将无偿的为高科精仪工作,寇总您看怎样?”
“尹老您有这个心就好,补不补偿的就不要再说了,毕竟我这边催得太紧了,您未能拿出一个更好的解决方案出来也是在情理之中!”
从科林挖过来是为了什么,还不是因为其本身扎实的技术功底,以及愿意跟随他的那群技术大能,他要是就这样答应下去了,尹志尧绝对会在工作期满以后直接走人,他拉拢的那批人保证立马就拍拍屁股走人,就为了那最多也不过一亿rb的工资,就将好不容易聚集起来的人才赶走,这种捡了芝麻丢了西瓜的事情,寇德可不会干这种蠢事。
“寇总对于我这边倒是信心十足,不过自家人知道自家事,就算给再多的时间恐怕也是拿不出比这apcvd更好的技术了!”
尹志尧有些颓丧的说完,寇德并没有统一其的言语,反而神秘一笑道,“既然常压的不行,那么尹老为何不试着尝试一下低压的,说不定会有奇效哦!”
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